Trong phạm vi vật liệu mục tiêu phun bán dẫn rộng hơn của Chalco, các mục tiêu phun bằng nhôm và hợp kim nhôm là các vật liệu màng mỏng kim loại chủ chốt được sử dụng trong quy trình PVD bán dẫn. Các lựa chọn chính bao gồm các mục tiêu nhôm tinh khiết cao, Alcu, AlSi và AlSiCu. Hệ thống vật liệu nên được lựa chọn dựa trên thành phần màng mục tiêu, cấu trúc thiết bị và yêu cầu quy trình.
Chúng tôi có thể cung cấp các mục tiêu nhôm và hợp kim nhôm cấp 5N5, với các mẫu sản phẩm nhôm tinh khiết cao 6N hiện có và cơ sở sản phẩm cho mục tiêu 300 mm Alcu và AlSiCu. Được hỗ trợ bởi nguyên liệu nguyên liệu tinh khiết cao, thành phần hợp kim và kiểm soát cấu trúc hạt, gia công chính xác và kết dính mục tiêu, chúng tôi có thể kết hợp các cấu trúc đơn khối hoặc kết dính với các hệ thống PVD phổ biến, cấu hình buồng và bản vẽ hiện có. Hỗ trợ từ xác nhận thông số kỹ thuật và kiểm định mẫu đến giới thiệu thể tích.
Nhôm và các sản phẩm mục tiêu phun tung tóe hợp kim nhôm
Chúng tôi có thể cung cấp các mục tiêu phun chất bán dẫn nhôm, Alcu, AlSi và AlSiCu có độ tinh khiết cao. Độ tinh khiết sản phẩm, thành phần hợp kim, kích thước, cấu trúc hạt và cấu trúc mục tiêu có thể được xác nhận theo màng mục tiêu, hệ thống PVD và các thông số kỹ thuật quy trình hiện có.
Mục tiêu phun nhôm tinh khiết cao
Mục tiêu nhôm độ tinh khiết cao phù hợp cho các dự án PVD bán dẫn có yêu cầu nghiêm ngặt về độ tinh khiết của màng, tạp chất tới hạn và độ ổn định khi phun phập. Các sản phẩm đơn khối hoặc liên kết có thể được cung cấp để phù hợp với cấu hình thiết bị.
| Tham số | Dải sản phẩm có sẵn |
| Chất liệu | Nhôm độ tinh khiết cao |
| Độ tinh khiết | Các ví dụ sản phẩm 6N hiện có; các loại khác được xác nhận theo tiêu chuẩn kỹ thuật |
| Kích thước | Xác nhận theo thiết bị, buồng và bản vẽ |
| Xây dựng sản phẩm | Nguyên khối hoặc liên kết |
| Điều khiển chính | Tạp chất, cấu trúc hạt, kích thước và chất lượng bề mặt |
Mục tiêu phun nhựa nhôm-đồng Alcu
Hàm lượng cu và độ đồng đều của hợp kim trong các mục tiêu Alcu có thể được kiểm soát theo thiết kế phim. Các mục tiêu này phù hợp cho các dự án kim loại hóa bán dẫn yêu cầu màng hợp kim nhôm-đồng.
| Tham số | Dải sản phẩm có sẵn |
| Chất liệu | Hợp kim nhôm-silicon AlSi |
| Độ tinh khiết | Cấp độ 5N5 có sẵn; các cấp độ khác được xác nhận theo tiêu chuẩn kỹ thuật |
| Nội dung Si | Xác nhận theo quy trình quy trình |
| Kích thước | Tùy chỉnh theo thiết bị và bản vẽ |
| Xây dựng sản phẩm | Nguyên khối hoặc liên kết |
| Điều khiển chính | Hàm lượng Si, độ đồng đều vi cấu trúc và chất lượng bề mặt |
Mục tiêu phun nhựa nhôm-silicon AlSi
Mục tiêu AlSi nhấn mạnh kiểm soát hàm lượng Si, phân bố hợp kim và cấu trúc vi mô. Các thông số kỹ thuật có thể được điều chỉnh phù hợp với công thức phim hiện có và thiết bị PVD của khách hàng.
| Tham số | Dải sản phẩm có sẵn |
| Chất liệu | Hợp kim nhôm-silicon AlSi |
| Độ tinh khiết | Cấp độ 5N5 có sẵn; các cấp độ khác được xác nhận theo tiêu chuẩn kỹ thuật |
| Nội dung Si | Xác nhận theo quy trình quy trình |
| Kích thước | Tùy chỉnh theo thiết bị và bản vẽ |
| Xây dựng sản phẩm | Nguyên khối hoặc liên kết |
| Điều khiển chính | Hàm lượng Si, độ đồng đều vi cấu trúc và chất lượng bề mặt |
Các mục tiêu phun nhựa nhôm-silic-đồng AlSiCu
Mục tiêu AlSiCu phù hợp cho các dự án phim hợp kim dựa trên nhôm với các yêu cầu xác định về tỷ lệ Si/Cu và độ đồng đều đa nguyên tố. Thành phần hợp kim, cấu trúc hạt và cấu trúc mục tiêu có thể được điều chỉnh phù hợp với dự án.
| Tham số | Dải sản phẩm có sẵn |
| Chất liệu | Hợp kim nhôm-silic-đồng AlSiCu |
| Độ tinh khiết | Cấp độ 5N5 có sẵn; các cấp độ khác được xác nhận theo tiêu chuẩn kỹ thuật |
| Nội dung Si và Cu | Xác nhận theo tiêu chuẩn phim và quy trình |
| Các ví dụ hiện có | Mục tiêu AlSiCu 300 mm và các ví dụ sản phẩm nguyên khối |
| Xây dựng sản phẩm | Cấu trúc đơn thôi; kết cấu liên kết có thể được đánh giá cho dự án |
| Điều khiển chính | Độ đồng đều đa thành phần, cấu trúc hạt và tính nhất quán trong quy trình |
Cung cấp thành phần hợp kim, cấp độ tinh khiết, kích thước mục tiêu, mẫu thiết bị và yêu cầu kết cấu, chúng tôi sẽ sử dụng thông tin này để lựa chọn giải pháp nhôm hoặc hợp kim nhôm phù hợp.
Kích thước mục tiêu và cấu hình kết cấu của sputtering
Chúng tôi có thể cung cấp các mục tiêu Alcu và AlSiCu 300 mm. Đường kính ngoài, độ dày, các bước, tấm lót và giao diện lắp đặt có thể được tùy chỉnh theo hệ thống PVD, buồng và cấu hình catốt. Có các tùy chọn đơn lithic, liên kết FSW, DB và lắp ráp để in.
Kích thước mục tiêu: Đường kính ngoài, độ dày và chiều cao lắp ráp được xác nhận từ bản vẽ
Cấu tạo sản phẩm: Đơn thạch, liên kết FSW hoặc liên kết DB
Cấu hình tấm lưng: Vật liệu, kích thước và cấu trúc phía làm mát được xác nhận cho dự án
Hồ sơ gia công: Bước, rãnh, lỗ và các đặc điểm định vị
Yêu cầu bề mặt: Độ nhám, độ phẳng và độ sạch được kiểm soát theo thông số kỹ thuật
Phù hợp thiết bị: Đánh giá theo mẫu hệ thống, buồng và số linh kiện hiện có
Mục tiêu phun nhôm phẳng hình tròn Đối với tấm wafer bán dẫn PVD. Đường kính, độ dày và hình dạng cạnh có thể được điều chỉnh phù hợp với giao diện thiết bị cụ thể.
Mục tiêu phun nhôm đơn khối Thân mục tiêu sử dụng cấu trúc đơn khối để giảm các giao diện vật liệu khác biệt. Thông tin sản phẩm hiện có bao gồm một ví dụ mục tiêu AlSiCu đơn khối.
Mục tiêu nhôm liên kết với tấm lót FSW, DB và các tùy chọn liên kết khác được hỗ trợ. Tấm lót và cấu trúc mối nối có thể được xác nhận dựa trên công suất, khả năng tản nhiệt và thiết kế cực âm.
Mục tiêu phun nước nhôm gia công theo yêu cầu Các bước, rãnh, lỗ gắn, các đặc điểm định vị và các hồ sơ cạnh đặc biệt có thể được gia công theo bản vẽ hiện có để thay thế mục tiêu và tương thích với thiết bị.
Giải pháp ứng dụng PVD bán dẫn
Đối với các nhà máy sản xuất wafer, công ty bán dẫn công suất, nhà sản xuất MEMS và các dự án tích hợp thiết bị PVD, chúng tôi cung cấp các giải pháp mục tiêu Al, Alcu, AlSi và AlSiCu độ tinh khiết cao bao gồm thành phần vật liệu, hiệu suất phim, kiểm soát hạt, tương thích thiết bị và kiểm định nhà cung cấp. Đối với các kết nối điện ở cấp bao bì ngoài bước lắng đọng PVD, Chalco cũng cung cấp vật liệu kết dính die-to-package, bao gồm dây kết dính bán dẫn và dải liên kết bán dẫn.
Màng kim loại hóa nhôm và kết nối
Phù hợp với vật liệu: Có sẵn các mục tiêu Al, Alcu, AlSi và AlSiCu độ tinh khiết cao
Kiểm soát vi cấu trúc: Thành phần hợp kim, hạt và hướng tinh thể được kiểm soát đồng đều
Quản lý lỗi: Giảm nguy cơ tạp chất, hạt
Sản xuất wafer 300 mm
Hỗ trợ sản phẩm: Có sẵn mục tiêu Alcu 300 mm và AlSiCu
Kiểm soát lô hàng: Quản lý độ tinh khiết, thành phần hợp kim và vi cấu trúc
Giới thiệu về khối lượng: Hỗ trợ kiểm định mẫu, kiểm định lô nhỏ và kiểm soát thông số kỹ thuật
Thiết bị bán dẫn công suất, SiC và GaN
Ghép cấu trúc: Hỗ trợ các tùy chọn monoolithic, FSW-bonded và DB-bonded
Kiểm tra giao diện: Đã kiểm tra giao diện liên kết và tính toàn vẹn mối nối
MEMS và PVD thiết bị chuyên dụng
Hợp kim tùy chỉnh: Hàm lượng Cu và Si phù hợp với yêu cầu phim
Gia công đặc biệt: Các bậc thang, lỗ, rãnh và các thanh profile không tiêu chuẩn được hỗ trợ
Cung ứng linh hoạt: Hỗ trợ thử nghiệm mẫu và kiểm định lô nhỏ
Ghép thiết bị và thay thế OEM
Tương thích thiết bị: Đánh giá dự án cho ULVAC, AMAT, EVATEC, NAURA, SPTS và các hệ thống khác
Khớp thông số kỹ thuật: Kích thước, hồ sơ và cấu trúc tấm lót khớp với số hiệu hoặc bản vẽ hiện có
Nguồn cung ổn định cho sản xuất bán dẫn
Quản lý thông số kỹ thuật: Độ tinh khiết, thành phần, cấu tạo và kích thước quan trọng được cố định
Hỗ trợ cung ứng: Mẫu thử, lô nhỏ, sản xuất số lượng lớn và mua sắm dài hạn đều được bảo đảm
Chọn mục tiêu bắn tung tóe Al, Alcu, AlSi và AlSiCu
Al, Alcu, AlSi và AlSiCu độ tinh khiết cao tương ứng với các hệ thống màng mỏng dựa trên nhôm khác nhau. Việc lựa chọn nên xem xét thành phần màng mục tiêu, kiểm soát tạp chất, cấu trúc thiết bị, thiết bị PVD và các thông số quy trình hiện có.
| Mục Lựa Chọn | Al độ tinh khiết cao | Alcu | AlSi | AlSiCu |
| Hệ thống vật liệu | Nhôm độ tinh khiết cao | Hợp kim nhôm-đồng | Hợp kim nhôm-silic | Hợp kim nhôm-silic-đồng |
| Vị trí chính | Màng kim loại nhôm nguyên chất | Màng hợp kim nhôm chứa Cu | Màng hợp kim nhôm chứa Si | Màng hợp kim nhôm đa thành phần |
| Điều khiển chính | Độ tinh khiết, tạp chất tới hạn và cấu trúc hạt | Hàm lượng cu, tính đồng nhất thành phần và cấu trúc hạt | Hàm lượng Si, tính đồng nhất phân bố và vi cấu trúc | Tỷ lệ Si/Cu và tính đồng nhất đa phần tử |
| Xác nhận thông số kỹ thuật | Phù hợp với cấp độ tinh khiết và cấu hình thiết bị | Xác nhận theo công thức phim và yêu cầu quy trình | Xác nhận theo công thức phim và yêu cầu quy trình | Phát triển theo thành phần dự án và cửa sổ quy trình |
| Ví dụ về sản phẩm và dự án | Ví dụ mục tiêu nhôm độ tinh khiết cao 6N | Ví dụ khớp sản phẩm 300 mm và thiết bị ULVAC | Dòng mục tiêu AlSi có sẵn | Ví dụ mục tiêu 300 mm và nguyên khối |
| Trọng tâm Đủ điều kiện | Độ tinh khiết của phim, tạp chất tới hạn và độ ổn định của lô | Thành phần hợp kim, độ đồng đều vi cấu trúc và khả năng tương thích với thiết bị | Phân bố Si, vi cấu trúc và hiệu suất phim | Thành phần đa thành phần, tính nhất quán của lô hàng và kiểm định quy trình |
Bốn hệ thống vật liệu dựa trên nhôm nên được lựa chọn dựa trên công thức màng mục tiêu, cấu trúc thiết bị, hệ thống PVD, các thông số quy trình hiện có và các thông số kỹ thuật đã được phê duyệt. Nếu hệ thống màng yêu cầu là dựa trên đồng thay vì nhôm, thì các mục tiêu phun nhựa bằng đồng và hợp kim đồng nên được đánh giá như một tuyến đường riêng biệt giữa mục tiêu và vật liệu, với đồng tinh khiết cao cho mục tiêu bán dẫn tạo thành tuyến vật liệu đồng độ tinh khiết cao tương ứng. Cung cấp thành phần phim, mẫu thiết bị và các thông số kỹ thuật hiện tại của mục tiêu, chúng tôi có thể hỗ trợ phù hợp với hệ thống vật liệu và kế hoạch kiểm định phù hợp.
Ưu điểm sản phẩm và nguồn cung
- Có các mục tiêu nhôm và hợp kim nhôm cấp 5N5, hỗ trợ sản phẩm nhôm tinh khiết cao 6N.
- Bao phủ bốn nhóm mục tiêu dựa trên nhôm: Al, Alcu, AlSi và AlSiCu.
- Các mục tiêu bán dẫn Alcu và AlSiCu 300 mm cũng có sẵn.
- Hỗ trợ thành phần, hạt, định hướng tinh thể và kiểm soát đồng đều vi cấu trúc.
- Các cấu trúc mục tiêu đơn liêu, liên kết FSW và liên kết DB đều có sẵn.
- Sản phẩm thay thế có thể được phát triển từ mẫu hệ thống PVD, buồng đạn, số hiệu bộ phận hiện có hoặc bản vẽ.
- Khả năng bao gồm gia công chính xác, dán dán, làm sạch, kiểm tra và đóng gói chân không.
- Hỗ trợ thử mẫu, kiểm định lô nhỏ, thay thế OEM và cung cấp hàng loạt.
Năng lực sản xuất và kiểm soát chất lượng
Từ việc chuẩn bị nguyên liệu và hợp kim độ tinh khiết cao đến làm sạch sản phẩm hoàn thiện và đóng gói chân không, chúng tôi cung cấp sản xuất tích hợp và quản lý chất lượng cho các mục tiêu phun nhôm và hợp kim nhôm. Chúng tôi cũng hỗ trợ kiểm định mẫu, thay thế OEM và giới thiệu nguồn thứ cấp.
Năng lực sản xuất
Kiểm soát vật liệu và vi cấu trúc: Hỗ trợ nung chảy bằng từ tính bay lơ lửng và điều khiển định hướng hạt và tinh thể IPAS
Hoàn thiện chính xác: Khả năng CNC và tiện cho các hồ sơ phức tạp và kiểm soát kích thước quan trọng
Nhiều cấu trúc mục tiêu: Có sẵn các sản phẩm monoolithic, FSW-bonded và DB-bonded
Giao hàng sản phẩm hoàn thiện sạch sẽ: Có dịch vụ làm sạch, sấy khô, kiểm tra và đóng gói chân không tự động
| Mục kiểm tra | Phương pháp kiểm tra |
| Độ tinh khiết và tạp chất vi lượng | ICP-MS |
| Thành phần hợp kim Alcu, AlSi và AlSiCu | Phân tích XRF hoặc hóa học |
| Kích thước hạt và hướng tinh thể | Kiểm tra EBSD hoặc kiểm tra kim loại |
| Tính toàn vẹn giao diện liên kết | Kiểm tra siêu âm C-SCAN |
| Độ chính xác kích thước và hình học | Kiểm tra CMM |
| Chất lượng bề mặt | Kiểm tra độ nhám, độ phẳng và độ sạch |
Các mục kiểm tra có thể được cấu hình theo các thông số kỹ thuật được khách hàng phê duyệt, yêu cầu tạp chất quan trọng, xây dựng mục tiêu và kế hoạch kiểm định PVD. Các tài liệu kiểm tra lô hàng và truy xuất nguồn gốc tương ứng có thể được cung cấp.
Hỗ trợ mẫu và đánh giá chất lượng
Phát triển sản phẩm thay thế: Đối chiếu dựa trên số linh kiện hiện có, bản vẽ, kích thước mục tiêu cũ hoặc mẫu vật lý
Đánh giá theo từng giai đoạn: Hỗ trợ thử nghiệm mẫu, kiểm tra theo lô nhỏ và đánh giá từ nguồn thứ hai
Điều chỉnh quy trình hợp tác: Các thông số sản phẩm được tối ưu hóa dựa trên phản hồi thiết bị, kết quả phim và hiệu suất dịch vụ
Kiểm soát thông số kỹ thuật thể tích: Vật liệu, cấu tạo, kích thước và các mục kiểm soát chất lượng được cố định sau khi kiểm định
Kinh nghiệm dự án và thiết bị
Cơ sở dự án 300 mm: Hỗ trợ phát triển và cung cấp các mục tiêu Alcu 300 mm và AlSiCu
Đánh giá thiết bị chính thống: Đối chiếu dựa trên các mô hình hệ thống và bản vẽ buồng cụ thể của ULVAC, AMAT, EVATEC, NAURA, SPTS và các loại khác
Kinh nghiệm dự án nhiều giai đoạn: Dự án OEM thiết bị PVD quốc tế, khách hàng sản xuất số lượng lớn bán dẫn, cung ứng lô nhỏ và dự án kiểm định mẫu
Cung cấp hệ thống vật liệu, thành phần hợp kim, mẫu thiết bị, số hiệu bộ phận hiện có và bản vẽ mục tiêu, chúng tôi có thể xây dựng kế hoạch sản xuất mẫu, kiểm tra và đánh giá nhà cung cấp.
Câu hỏi thường gặp
1. Sự khác biệt giữa các mục tiêu bắn tung xạ Al, Alcu, AlSi và AlSiCu là gì?
Al độ tinh khiết cao chủ yếu được sử dụng để phủ màng kim loại nhôm nguyên chất. Alcu được sử dụng cho màng hợp kim nhôm chứa Cu, AlSi cho màng hợp kim nhôm chứa Si, và AlSiCu cho màng hợp kim nhôm đa thành phần chứa cả Si và Cu. Vật liệu cụ thể nên được lựa chọn dựa trên thành phần màng mục tiêu, cấu trúc thiết bị, công thức quy trình hiện có và các thông số kỹ thuật đã được phê duyệt.
2. Có những cấp độ tinh khiết nào cho các mục tiêu nhôm phun nước?
Chúng tôi có thể cung cấp các mục tiêu nhôm và hợp kim nhôm cấp 5N5, đồng thời hỗ trợ các sản phẩm nhôm tinh khiết cao 6N. Cấp độ tinh khiết cụ thể, giới hạn tạp chất nghiêm trọng và các mục kiểm tra có thể được xác nhận theo thông số kỹ thuật quy trình bán dẫn, kèm theo dữ liệu kiểm tra lô tương ứng.
3. Có thể tùy chỉnh hàm lượng Cu và Si của các mục tiêu hợp kim nhôm không?
Có. Hàm lượng cu và Si cùng dung sai cho phép có thể được xác nhận dựa trên công thức màng mục tiêu, các tiêu chuẩn mục tiêu hiện có và yêu cầu kiểm định PVD. Sau khi kiểm định mẫu, thành phần hợp kim, vi cấu trúc và yêu cầu kiểm soát chất lượng thể tích có thể được xác định.
4. Bạn có thể cung cấp các mục tiêu phun xốp hợp kim nhôm 300 mm không?
Chúng tôi có thể cung cấp các mục tiêu Alcu và AlSiCu 300 mm. Đường kính ngoài, độ dày, hình dạng cạnh, tấm lót và giao diện lắp đặt thực tế phải phù hợp với hệ thống PVD, buồng và cấu hình catốt.
5. Mục tiêu nhôm của bạn có tương thích với AMAT, ULVAC và các hệ thống PVD khác không?
Tính tương thích có thể được đánh giá dựa trên mô hình hệ thống cụ thể, cấu hình buồng, số linh kiện hiện có và bản vẽ mục tiêu cho AMAT, ULVAC, EVATEC, NAURA, SPTS và các thiết bị khác. Cơ sở sản phẩm hiện có bao gồm dự án Alcu 300 mm phù hợp với thiết bị ULVAC; các mục tiêu cho các hệ thống khác được phát triển theo các thông số kỹ thuật áp dụng.
6. Bạn có thể sản xuất các mục tiêu thay thế từ bản vẽ hiện có hoặc mục tiêu đã qua sử dụng không?
Sản phẩm thay thế có thể được phát triển từ số hiệu bộ phận ban đầu, bản vẽ sản phẩm, kích thước mục tiêu cũ, cấu trúc tấm nền hoặc ảnh của mục tiêu hiện có. Các tùy chọn monolithic, FSW-bonded và DB-bonded được hỗ trợ, cùng với kiểm tra mẫu, kiểm định lô nhỏ và giới thiệu nguồn thứ hai.
Nộp bản vẽ mục tiêu nhôm và yêu cầu quy trình
Cung cấp thông tin mục tiêu hiện có và yêu cầu quy trình PVD, chúng tôi có thể giúp xác nhận hệ thống vật liệu, thành phần hợp kim, cấu tạo mục tiêu, khả năng tương thích thiết bị và kế hoạch kiểm định mẫu.
Vật liệu mục tiêu: Al, Alcu, AlSi hoặc AlSiCu
Yêu cầu về độ tinh khiết: Mức độ tinh khiết và giới hạn tạp chất tới hạn
Thành phần hợp kim: Hàm lượng Cu và Si cùng dung sai cho phép
Kích thước sản phẩm: Đường kính, độ dày và các hồ sơ tới hạn
Thông tin thiết bị: Thương hiệu, mẫu hệ thống PVD và mô hình buồng đạn
Cấu tạo sản phẩm: Đơn thạch, liên kết FSW hoặc liên kết DB
Cấu hình tấm lưng: Vật liệu, kích thước và bản vẽ lắp đặt
Yêu cầu chất lượng: Yêu cầu về hạt, hướng tinh thể, bề mặt và độ sạch
Thông tin thay thế: Số linh kiện hiện có, bản vẽ hoặc ảnh của mục tiêu cũ
Yêu cầu mua sắm: Số lượng mẫu, kế hoạch đánh giá và khối lượng hàng năm ước tính
Ngay cả khi thông tin hiện có chưa đầy đủ, bạn vẫn có thể gửi mẫu thiết bị, số hiệu bộ phận gốc hoặc ảnh của mục tiêu cũ. Chúng ta có thể sử dụng thông tin này để xác định các tham số quan trọng và tiến hành phát triển mẫu.
Chalco có thể cung cấp cho bạn kho sản phẩm nhôm toàn diện nhất và cũng có thể cung cấp các sản phẩm tùy chỉnh. Báo giá chính xác sẽ được cung cấp trong vòng 24 giờ.
Nhận báo giá