ضمن نطاق المواد المستهدفة الأوسع لأشباه الموصلات من تشالكو، تستخدم أهداف التلقطات النحاسية وسبائك النحاس بشكل أساسي لتشكيل وصلات النحاس، وطبقات البذور، والأغشية الرقيقة الوظيفية القائمة على النحاس في عمليات PVD أشباه الموصلات. أهداف النحاس عالية النقاء مناسبة لتطبيقات UBM وTSV وTGV وRDL، بينما تخدم أهداف CuMn تطبيقات تتطلب تحكما أكثر صرامة في تركيب السبائك وتوحيد البنية الدقيقة.
نوفر أهداف النحاس عالي النقاء وتقنيات CuMn، مدعومة بقدرات تصنيع داخلية كاملة - من تكرير النحاس فائق النقاء وصهر السبائك إلى التحكم في اتجاه الحبيبات والبلورات، والتصنيع الدقيق، وربط الأهداف، والتنظيف الآلي، والتعبئة بالتفريغ، وفحص الجودة. يمكن تخصيص المنتجات كهياكل أحادية أو مرتبطة بألواح خلفية بناء على نوع الأداة، وتصميم الحجرة، والرسومات المستهدفة الموجودة. ندعم التحكم في الأبعاد، والشوائب الحرجة، ونسب السبائك، وجودة السطح، وسلامة الروابط لتمكين الاستبدال المباشر، والتحقق من العينة، والتأهيل من المصدر الثاني.
منتجات التناثر المستهدف لسبائك النحاس والنحاس
نقدم أهداف تنفث النحاس عالية النقاء وأهداف تشطيب من سبائك النحاس والمنغنيز CuMn لتطبيقات PVD أشباه الموصلات. تتم مطابقة المواصفات مع تصميم الأفلام، وهندسة الأدوات، وأبعاد الهدف، والبنية الدقيقة، وطريقة الربط، مما يدعم التكوينات الأحادية أو المرتبطة أو الهندسة المخصصة.
أهداف النحاس عالية النقاء
تستخدم أهداف التشويش النحاسي عالية النقاء بشكل رئيسي في وصلات النحاس أشباه الموصلات، وعمليات معدن التغليف على مستوى الرقائق UBM، TSV، TGV، RDL، وعمليات معدن التغليف على مستوى الرقاقة. تشمل الضوابط الرئيسية نقاء المادة، الشوائب الأكسجينية والمعادن، بنية الحبيبات، العيوب الداخلية، ونظافة السطح لضمان ترسيب فيلم النحاس المستقر واتساق الدفعات.
| المواصفات | النطاق المتاح |
| المادة | النحاس عالي النقاء |
| النقاء | 6N، ≥99.9999٪ |
| الأحجام الشائعة | 6 إنش، 8 إنش، 12 إنش |
| هيكل المنتج | أحادي النمط أو اللوحة الخلفية الملتصق |
| بنية الحبيبات والاتجاه البلوري | يتم التحكم فيه وفقا للدرجة المستهدفة ومتطلبات العملية |
| حالة السطح | التشغيل الدقيق، والتنظيف، والتغليف بالمفريضة الكهربائية |
| طريقة الربط | FSW أو DB أو HIP أو يتم تقييمه بناء على البنية |
| الفحوصات الرئيسية | التركيب والشوائب ، LECO ، EBSD ، C-SCAN، الفحص البعدي والسطحي |
| خيارات التخصيص | القطر، السماكة، ملف الحواف، مواقع الفتحات، لوحة الدعم، وميزات التثبيت |
أهداف CuMn لسبائك النحاس والمنغنيز التي تتقطع
تستخدم أهداف التناثر النحاس-المنغنيز في CuMn النحاس عالي النقاء كمادة أساسية، مع محتوى منغنيز متحكم به وبنية دقيقة لتلبية المتطلبات الصارمة لأفلام السبائك القائمة على النحاس، وتجانس التركيب، واستقرار العملية في تطبيقات PVD أشباه الموصلات. يمكن تأكيد محتوى Mn، حدود الشوائب، بنية الحبيبات، وتكوين الهدف مقابل مواصفات العملية الحالية.
| المواصفات | النطاق المتاح |
| المادة | سبيكة CuMn للنحاس-المنغنيز |
| المادة الأساسية | النحاس عالي النقاء |
| نقاء القاعدة | درجة 6N، وذلك مع تأكيد المواصفات الرسمية |
| محتوى مينيسوتا | تم التأكيد بناء على متطلبات الفيلم والعملية |
| تركيب السبائك | كو-مينيسوتا |
| الأبعاد | تم التأكيد بناء على رسومات الأدوات، الحجرة، والأهداف. |
| توحيد السبائك | توزيع التركيب المتحكم به عبر السطح والكتلة |
| بنية الحبيبات والاتجاه البلوري | تم التأكيد وفقا لدرجة الهدف CuMn |
| هيكل المنتج | أحادي النمط أو اللوحة الخلفية الملتصق |
| حالة السطح | التشغيل الدقيق، والتنظيف، والتغليف بالمفريضة الكهربائية |
| الفحوصات الرئيسية | تركيب السبائك، الشوائب الحرجة، EBSD، فحص C-scan، والفحص البعدي |
أبعاد الهدف وتكوين الهيكل
نوفر أهداف نحاسية عالية النقاء بمقاس 6 بوصات، 8 بوصات، و12 بوصة ونطور أهداف CuMn حسب مواصفات المشروع. يمكن تخصيص القطر الخارجي، السماكة، ملف الحواف، لوحة الدعم، ميزات الجانب الخلفي، وواجهات التثبيت بناء على تصميم أدوات PVD، الحجرة، والكاثود، مما يدعم حلول التصنيع الأحادية أو المرتبطة أو القائمة على الرسم.
شكل الهدف: أهداف دائرية مستوية وأشكال مخصصة لكل رسم
الأبعاد الرئيسية: تم تأكيد القطر الخارجي، السمك، وارتفاع التجميع حسب رسومات الأدوات
هيكل المنتج: أحادي الشكل أو الرابط بلوحة خلفية
تكوين لوحة الدعم: المادة والأبعاد وميزات جانب التبريد المؤكدة لكل مشروع
الميزات المصنوعة يدويا: الدرجات، الأخاديد، الفتحات المركزية، فتحات التثبيت، وميزات المحاذاة
السطح والتساوت: خشونة السطح، التسطح، والتسامحات البعدية المنفذة حسب الرسومات المعتمدة
هدف التلقطيع النحاسي المستوي الدائري الهدف المستوي الدائري هو تكوين شائع في PVD رقائق أشباه الموصلات. يجب تأكيد القطر الفعلي والسمك وهندسة الحافة بناء على متطلبات واجهة الأداة.
هدف النحاس المتقطع الأحادي يستخدم الجسم المستهدف بنية أحادية الشكل دون واجهة بين طبقة التقطيع ولوح دعم مختلف.
هدف النحاس المتقطع الأحادي يتم دمج الهدف مع لوحة دعم من الألمنيوم أو النحاس أو أي لوحة دعم أخرى في تجميع كامل. يتم اختيار لوحة الدعم وطريقة الربط بناء على الإدارة الحرارية، كثافة الطاقة، وتصميم الكاثود.
هدف التلذج النحاسي المصمم خصيصا يدعم تصنيع الدرج المخصص للأخاديد وفتحات التثبيت وميزات المحاذاة وملفات التعريف الخلفية أو الحواف المتخصصة للاستبدال المباشر وتوافق الأدوات.
حلول تطبيقات أهداف النحاس لأشباه الموصلات
لمختلف عمليات PVD لأشباه الموصلات والتغليف المتقدمة، نوفر اختيار أهداف النحاس أو CuMn عالي النقاء، ومطابقة هيكلية، والتحقق من العينات، ودعم زيادة الحجم بناء على تصميم الفيلم، ونموذج الأدوات، وهندسة الحجرة، والمواصفات المستهدفة الحالية. بالنسبة للوصلات الكهربائية على مستوى العبوة خارج مرحلة ترسيب PVD، توفر تشالكو أيضا مواد ربط القالب إلى العبوة، بما في ذلك سلك ربط أشباه الموصلات وشريط ربط أشباه الموصلات.
طبقة بذور الربط النحاسي
التحكم في المواد: نحاس عالي النقاء مع شوائب منخفضة
مطابقة العمليات: تحسين الدرجة والبنية المستهدفة
دعم التأهيل: من التحقق من العينات إلى توفير كميات كبيرة
تغليف UBM ومستوى الويفر
التوافق الهيكلي: تكييف الأدوات ولوحة الدعم
التحكم في الدفعات: المادة المتسقة وجودة التشغيل
تطوير البديل: دعم التأهيل من المصدر الثاني
TSV، TGV، وRDL
تخصيص الهدف: خيارات أحادية أو مرتبطة
توافق الأدوات: مطابقة الأبعاد والواجهة
دعم المشروع: من النمذجة الأولية والتحقق إلى التسليم بكميات كبيرة
المعدن المتقدم لسبائك النحاس
تخصيص التركيب: محتوى مينيسوتا مصمم حسب المتطلبات
التحكم في البنية الدقيقة: تعزيز توحيد السبائك والحبيبات
التحقق من العملية: تعديل المواصفات ودعم الاختبار
أشباه الموصلات القوية وMEMS
تخصيص مرن: المواصفات غير القياسية مدعومة
التشغيل المعتمد على الرسم: مطابقة الملف الشخصي ولوحة الخلفية
التأهيل المرحلي: العينات، مجموعات الاختبار، والإنتاج الضخم
كيفية الاختيار بين أهداف النحاس عالي النقاء وأهداف CuMn
تخدم أهداف التزحلق النحاس عالي النقاء والنحاس والمنغنيز المصنوع من CuMn تصاميم مختلفة للأفلام وعمليات PVD أشباه الموصلات. يجب أن يعتمد الاختيار على تركيب الفيلم المستهدف، ومتطلبات السبائك، وبنية الأدوات، والشوائب الحرجة، ومواصفات العملية المعتمدة - وليس فقط على النقاء أو السعر.
| معايير الاختيار | هدف النحاس عالي النقاء | هدف CuMn النحاس-المنغنيز |
| نظام المواد | النحاس عالي النقاء | سبيكة النحاس عالية النقاء المعتمدة على النحاس |
| تركيز التطبيق | التحويل العام للنحاس شبه الموصلات | عمليات تمعدن سبائك النحاس المتخصصة |
| التطبيقات النموذجية | وصلات نحاسية، UBM، TSV، TGV، RDL | طبقات بذور سبائك النحاس والأغشية الرقيقة الوظيفية |
| التحكم الرئيسي | النقاء، الشوائب الحرجة، بنية الحبوب، وأداء الجسيمات | محتوى ال Mn، وتجانس التركيب، والشوائب وبنية الحبيبات |
| تأكيد المواصفات | مطابقة المواصفات الحالية أو تطوير مشاريع قياسية | يتم تخصيصه بناء على تركيب الفيلم ومتطلبات العملية |
| تركيز التحقق | توافق الحجرة، وثبات الفيلم، واتساق الدفعات | التركيب، البنية الدقيقة، والتحقق من العملية |
أهداف النحاس عالية النقاء أكثر ملاءمة لتطبيقات طبقة بذور النحاس العريضة وتطبيقات التمعدن الموصل، بينما أهداف CuMn مثالية للمشاريع ذات المتطلبات المحددة لمحتوى الMn وأفلام السبائك القائمة على النحاس. يجب أن يكون اختيار المواد النهائي بناء على تركيب الفيلم المستهدف، ونسبة السبائك، وتصميم غرفة PVD، ومواصفات العملية المعتمدة. بالنسبة لمشاريع أشباه الموصلات المبنية على نظام هدف ألمنيوم بدلا من Cu أو CuMN، يجب تقييم أهداف تشويش الألمنيوم وسبائك الألمنيوم كمسار مواد منفصل.
المواد ومزايا التصنيع
قاعدة المواد الخام فائقة النقاء: قادرة على إنتاج مواد خام نحاسية فائقة النقاء بفئات 7N و8N؛ أهداف نحاسية نهائية متوفرة بدرجة 6N.
التحكم في تركيب CuMn: محتوى المون، وتجانس السبائك، وبنية الحبيبات مصممة خصيصا لمتطلبات العملية.
توريد المنتج النهائي المتكامل: يدعم التشغيل الآلي الدقيق، الهياكل الأحادية أو الملتصقة، التنظيف، الفحص، والتعبئة بالفراغ.
القدرة الإنتاجية ومراقبة الجودة
نقدم دعما تصنيعيا متكاملا - من المواد الخام عالية النقاء وسبائك CuMn إلى التحكم في الحبوب، والتصنيع CNC، وربط الأهداف، والتنظيف، والتغليف، والفحص النهائي - ونتعاون مع العملاء في التحقق من صحة العينة والتأهيل من المصدر الثاني.
مادة خام عالية النقاء: قادرة على إنتاج نحاس فائق النقاء بعيار 7N و8N؛ أهداف نحاسية نهائية متوفرة بدرجة 6N.
السبيكة والبنية الدقيقة: تدعم التحكم في تركيب CuMn، وبنية الحبيبات، وتجانس البنية الدقيقة.
تصنيع المنتجات النهائية: يدعم الأهداف الأحادية وتكوينات FSW/DB المرتبطة بتقنية CNC دقيقة.
المعالجة النظيفة: التنظيف الآلي، التجفيف النظيف، والتعبئة بالتفريغ مفرود.
| عناصر الفحص | طرق التحكم |
| النقاء والشوائب المعدنية | GDMS أو ICP-MS |
| تركيب سبيكة CuMn | تحليل التركيب والتجانس |
| عناصر الضوء (O، C، إلخ) | تحليل LECO |
| بنية الحبيبات والاتجاه البلوري | فحص EBSD أو فحص المعادن |
| العيوب الداخلية والعيوب في الربط | فحص C-Scan |
| الأبعاد والتسامح | قياس الدقة CMM |
| جودة السطح | فحص الخشونة والاستسطح والنظافة |
استنادا إلى أرقام القطع الحالية، والرسومات، والأهداف القديمة، وتكوينات الأدوات، نقدم: تصنيع الأهداف النموذجية، مطابقة المواد والهياكل، تعديلات مواصفات بعد PVD، التحقق من المصدر الثاني، وتوريد الحجم بعد الموافقة على العينة. الاستفسارات عن العينات مرحب بها.
الأسئلة الشائعة
1. ما هو هدف التلقطع النحاسي المستخدم بشكل أساسي في تصنيع أشباه الموصلات؟
تستخدم أهداف التلقط النحسي عالي النقاء بشكل رئيسي في عمليات التمعدن PVD لطبقات بذور الربط النحاسي، وتغليف UBM وTSV وTGV وRDL وتغليف مستوى الرقاقة. يجب تأكيد درجة الهدف المحددة وبنية الفيلم بناء على تصميم مكدس الأفلام، ونوع الأداة، وتكوين الحجرة.
2. ما الفرق بين أهداف النحاس عالية النقاء وأهداف CuMn؟
أهداف النحاس عالية النقاء مناسبة لمجموعة واسعة من ترسيب النحاس الموصلة وطبقات البذور، مع التركيز على النقاء، والتحكم في الشوائب، وبنية الحبيبات، وأداء الجسيمات. تستخدم أهداف CuMn لأفلام سبائك النحاس المحددة وتتطلب تحكما أكثر إحكاما في محتوى Mn، وتجانس السبائك، والبنية الدقيقة.
3. هل يمكن تخصيص محتوى ال Mn في أهداف CuMn؟
يمكننا تقييم محتوى ال Mn والتسامح المسموح به بناء على تركيب الفيلم الخاص بك، ومواصفات العمليات الحالية، ومتطلبات التأهيل. بمجرد الموافقة على العينات، يمكن تحديد معايير تركيب المواد والإنتاج بكميات كبيرة.
4. هل تزودون أهداف نحاسية بطول 6 إنش، 8 إنش، و12 إنش؟
تتوفر أهداف النحاس عالية النقاء بأحجام 6 إنش و8 بوصات و12 بوصة. تعتمد أبعاد الأهداف في التيار المكعب على مواصفات المنتج ومتطلبات المشروع. يجب دائما تأكيد القطر الخارجي الفعلي، السمك، ملف الحواف، وتصميم لوحة الدعم مع رسومات الأدوات.
5. ما الفرق بين الأهداف الأحادية والأهداف المترابطة؟
تصنع الأهداف الأحادية الصنع مباشرة من قطعة واحدة من مادة الهدف دون واجهة مع لوحة دعم مختلفة. تتكون الأهداف المثبتة من هدف مرتبط بلوح دعم، مما يسمح باختيار حلول الربط بناء على الإدارة الحرارية، والتعامل مع الطاقة، وواجهة الكاثود، ومتطلبات التجميع الميكانيكي.
6. هل يمكنك إنتاج أهداف بديلة بناء على رسومات موجودة أو أهداف قديمة؟
يمكننا تقييم المادة، الأبعاد، الملف الشخصي، وهيكل لوحة الدعم بناء على الرسومات المستهدفة الحالية، وأرقام الأجزاء، والصور، أو العينات المادية، ودعم النماذج الأولية، والتحقق من PVD، والتأهيل من المصدر الثاني.
تقديم رسومات الأهداف النحاسية ومتطلبات العملية
استنادا إلى رسوماتك الحالية، وعينات الهدف، ونوع أداة PVD، ومواصفات العملية، يمكننا تقييم حلول الأهداف عالية النقاء للنحاس أو CuMn ودعمك من تأكيد المواصفات والنمذجة الأولية مرورا بالتحقق من العملية وصولا إلى زيادة الحجم.
عند طلب عرض سعر، يرجى توفير:
- المادة المستهدفة: نحاس عالي النقاء أو CuMn
- درجة النقاء أو محتوى Mn
- القطر والسمك المستهدف
- نموذج الأداة والحجرة
- البناء الأحادي أو المرتبط
- متطلبات رسم وتجميع ألواح الدعم
- حجم الحبوب ومواصفات الشوائب الحرجة
- رقم قطعة موجود، رسم، أو صورة للهدف القديم
- كمية العينة والاستخدام السنوي المقدر
أرسل مواصفات الهدف الحالية أو رسومات الأدوات للحصول على حل مخصص للتحقق من المواد والبنية والعينات.
يمكن ل Chalco أن توفر لك أكثر المخزون شمولا من منتجات الألمنيوم كما يمكنها تزويدك بمنتجات مخصصة. سيتم تقديم عرض سعر دقيق خلال 24 ساعة.
احصل على عرض سعر
