أهداف تقطع الألمنيوم وسبائك الألمنيوم لPVD أشباه الموصلات

ضمن نطاق المواد المستهدفة الأوسع لأشباه الموصلات من تشالكو، تعد أهداف الرشاش من الألمنيوم وسبائك الألمنيوم من المواد الأساسية للفيلم المعدني الرقيق المستخدمة في عمليات PVD أشباه الموصلات. تشمل الخيارات الرئيسية الألمنيوم عالي النقاء، وألكو، وAlSi، وألسيكو. يجب اختيار نظام المواد وفقا لتركيب الفيلم المستهدف، وبنية الجهاز، ومتطلبات العملية.

يمكننا تزويد أهداف الألمنيوم وسبائك الألمنيوم بدرجة 5N5، مع نماذج منتجات ألمنيوم عالية النقاء 6N الحالية وقاعدة منتج لأهداف ألكو وألسيكو بقطر 300 مم. بدعم من المواد الخام عالية النقاء، وتركيب السبائك والتحكم في بنية الحبيبات، والتصنيع الدقيق، وقدرات ربط الأهداف، يمكننا مطابقة الهياكل الأحادية أو المرتبطة بأنظمة PVD السائدة، وتكوينات الحجرات، والرسومات القائمة. يتوفر الدعم من تأكيد المواصفات والتأهيل للعينات حتى تقديم الحجم.

منتجات الهدف من الألمنيوم وسبائك الألمنيوم

يمكننا توفير أهداف تشويش أشباه الموصلات عالية النقاء، الألمنيوم الكيميائي، الألسيم، وألسيكو. يمكن تأكيد نقاء المنتج، وتركيب السبائك، والأبعاد، وبنية الحبيبات، وبناء الهدف وفقا للفيلم المستهدف، ونظام PVD، ومواصفات العمليات الحالية.

أهداف التلقطيع عالية النقاء

أهداف الألمنيوم عالية النقاء مناسبة لمشاريع PVD أشباه الموصلات التي تتطلب متطلبات صارمة لنقاء الفيلم، والشوائب الحرجة، وثبات التقطيع. يمكن توفير منتجات أحادية أو مرتبطة لتتناسب مع تكوين المعدات.

أهداف التقطيع الألمنيوم-النحاس ألكو

يمكن التحكم في محتوى النفعاثات وتوحيد السبائك في أهداف الألمنيوم وفقا لتصميم الفيلم. هذه الأهداف مناسبة لمشاريع المعادن في أشباه الموصلات التي تتطلب أفلام من سبائك الألمنيوم-النحاس.

أهداف AlSi الألمنيوم-سيليكون المتفرقة

تركز أهداف AlSi على التحكم في محتوى Si، وتوزيع السبائك، والبنية الدقيقة. يمكن مطابقة المواصفات مع تركيبة الفيلم ومعدات PVD الحالية لدى العميل.

أهداف ألسيكو المصنوعة من الألمنيوم-السيليكون-النحاس المتقطعة

أهداف ألسيكو مناسبة لمشاريع أفلام سبائك الألمنيوم مع متطلبات محددة لنسب Si/Cu وتجانس العناصر المتعددة. يمكن مطابقة تركيب السبائك، وبنية الحبيبات، وبناء الأهداف مع المشروع.

قدم تركيب السبائك، درجة النقاء، الأبعاد المستهدفة، نموذج المعدات، والمتطلبات الهيكلية، وسنستخدم هذه المعلومات لمطابقة حل هدف مناسب للألمنيوم أو سبائك الألمنيوم.

ابحث عن نموذج مناسب

أبعاد الأهداف المتقطعة والتكوينات الهيكلية

يمكننا توفير أهداف ألكو وألسيكو بقطر 300 مم. يمكن تخصيص القطر الخارجي، السماكة، الخطوات، لوحة الدعم، وواجهات التثبيت وفقا لنظام PVD، الحجرة، وتكوين الكاثود. تتوفر خيارات أحادية الحجر، مرتبطة ب FSW، مرتبطة ب DB، وخيارات البناء للطباعة.

الأبعاد المستهدفة: تم تأكيد القطر الخارجي، السمك، وارتفاع التجميع من الرسومات

بناء المنتج: أحادية الحجر، مرتبطة ب FSW، أو مرتبطة DB

تكوين لوحة الدعم: تم تأكيد المادة والأبعاد وهيكل جانب التبريد للمشروع

الملف التعريفي المشغل: الدرجات، الأخاديد، الثقوب، وميزات تحديد المواقع

متطلبات السطح: الخشونة والاستواء والنظافة التي يتم التحكم بها حسب المواصفات

مطابقة المعدات: يتم تقييمها وفقا لنموذج النظام، والحجرة، ورقم القطعة الحالي

• هدف الألمنيوم المستوي الدائري المتحرك

  بالنسبة لشريحة أشباه الموصلات PVD. يمكن مطابقة القطر والسمك وملف الحافة مع واجهة المعدات المحددة.

• هدف التلقطات الأحادي الألمنيوم

  يستخدم الجسم المستهدف بنية أحادية لتقليل واجهات المواد المختلفة. تشمل معلومات المنتج الحالية مثالا على هدف ألسيكو أحادي.

• هدف تمزق من الألمنيوم المثبت مع لوحة خلفية

  يتم دعم خيارات الربط FSW وDB وغيرها. يمكن تأكيد هيكل لوحة الدعم والمفصل وفقا للطاقة وتبديد الحرارة وتصميم الكاثود.

• هدف التلقطيع المصنوع خصيصا من الألمنيوم

  يمكن تصنيع الخطوات، والأخاديد، وفتحات التثبيت، وميزات تحديد الموقع، وملفات الحواف الخاصة وفقا لرسم موجود لاستبدال الأهداف وتوافق المعدات.

تأكيد المعلمات

حلول تطبيقات PVD لأشباه الموصلات

بالنسبة لمصانع الرقائق، وشركات أشباه الموصلات الكهربائية، ومصنعي MEMS، ومشاريع دمج معدات PVD، نقدم حلول أهداف عالية النقاء من Al، ألكو، AlSi، وألسيكو تشمل تركيب المواد، وأداء الفيلم، والتحكم في الجسيمات، وتوافق المعدات، وتأهيل المورد. بالنسبة للوصلات الكهربائية على مستوى العبوة خارج مرحلة ترسيب PVD، توفر Chalco أيضا مواد ربط القالب إلى العبوة، بما في ذلك أسلاك ربط أشباه الموصلات وشريط الربط شبه الموصل.

فلش المعادن والأفلام الوصلة بالألمنيوم

مطابقة المواد: أهداف عالية النقاء من Al، ألكو، AlSi، وألسيكو متوفرة

التحكم في البنية المجهرية: يتم التحكم في تركيب السبائك، والحبيبات، وتجانس الاتجاهات البلورية

إدارة العيوب: تقليل خطر الشوائب والجسيمات

إنتاج رقائق 300 مم

دعم المنتج: أهداف ألكو وألسيكو بعيار 300 مم متاحة

التحكم في القطع: النقاء، تركيب السبائك، والبنية الدقيقة المدارة

مقدمة المجلد: دعم العينة، التأهيل للدفعات الصغيرة، والتحكم في المواصفات

أجهزة أشباه الموصلات الكهربائية، وSiC، وGaN

المطابقة الهيكلية: خيارات مدعومة بأوراق الأحادية، والمرتبطة بسندات FSW، وDB

فحص الواجهة: فحص واجهة الربط وسلامة المفصل

MEMS وجهاز التخصص PVD

سبائك مخصصة: محتوى Cu و Si مطابق لمتطلبات الفيلم

التشغيل الخاص: الدرجات، الثقوب، الأخاديد، والملفات غير القياسية مدعومة

توفير مرن: تجارب العينات والتأهيل للدفعات الصغيرة مدعومة

مطابقة المعدات واستبدال المصنعين الأصليين

توافق المعدات: تقييم المشاريع لأنظمة ULVAC، AMAT، EVATEC، NAURA، SPTS، وغيرها من الأنظمة

مطابقة المواصفات: الأبعاد والملفات الجانبية وهياكل ألواح الدعم المطابقة لرقم قطعة أو رسم موجود

الإمداد المستقر لإنتاج أشباه الموصلات

إدارة المواصفات: النقاء، التركيب، البناء، والأبعاد الحرجة الثابتة

دعم التوريد: تشمل العينات، الدفعات الصغيرة، الإنتاج الكبير، والمشتريات طويلة الأمد

احصل على نصيحة الحل

اختيار أهداف Al، ألكو، AlSi، وألسيكو التي تتعثر

تتوافق أنظمة الألمنيوم، ألكيو، ألسيكل، وألسيكو عالية النقاء مع أنظمة مختلفة تعتمد على الألمنيوم للأغشية الرقيقة. يجب أن يأخذ الاختيار في الاعتبار تركيب الفيلم المستهدف، والتحكم في الشوائب، وهيكل الجهاز، ومعدات PVD، ومواصفات العمليات الحالية.

يجب اختيار أنظمة المواد الأربعة المعتمدة على الألمنيوم وفقا لتركيبة الفيلم المستهدف، وهيكل الجهاز، ونظام PVD، ومعايير العملية الحالية، والمواصفات المعتمدة. إذا كان نظام الأفلام المطلوب قائما على النحاس وليس الألمنيوم، يجب تقييم أهداف التنفث النحاسية وسبائك النحاس كمسار منفصل للمواد المستهدفة، مع تشكيل النحاس عالي النقاء لأهداف أشباه الموصلات المسار المقابل للمادة النحاسية عالية النقاء المقابل. قدم تركيبة الفيلم، نموذج المعدات، والمواصفات الحالية للهدف، ويمكننا المساعدة في مطابقة نظام المواد المناسبة وخطة التأهيل.

مزايا المنتج والتوريد

• تتوفر أهداف من الألمنيوم والسبائك من فئة 5N5، مع دعم لمنتجات الألمنيوم عالية النقاء.
• تغطية لأربع فئات مستهدفة قائمة على الألمنيوم: Al، ألكو، AlSi، وألسيكو.
• تتوفر أهداف أشباه موصلات بقطر 300 مم من نوع ألكو وألسيكو.
• دعم التركيب، والحبيبة، والاتجاه البلورجي، والتحكم في التوحيد الميكروبني.
• تتوفر بناءات أهداف أحادية الحجر، مرتبطة ب FSW، وDB.
• يمكن تطوير منتجات بديلة من نموذج نظام PVD، أو الحجرة، أو رقم القطعة الحالي، أو الرسم.
• تشمل القدرات التشغيل الدقيق، واللصق، والتنظيف، والفحص، والتعبئة بالفراغ.
• دعم تجارب العينات، التأهيل للدفعات الصغيرة، استبدال المصنعين الأصليين، والتوريد بكميات كبيرة.

قدرات التصنيع ومراقبة الجودة

من تحضير المواد الأولية والسبائك عالية النقاء إلى تنظيف المنتجات النهائية والتغليف بالتفريغ، نوفر إدارة تصنيع متكاملة وجودة لأهداف تشويش الألمنيوم وسبائك الألمنيوم. ندعم أيضا تأهيل العينات، واستبدال المصنعين الأصليين، وإدخال المصدر الثاني.

قدرات التصنيع

التحكم في المواد والبنية المجهرية: دعم الانصهار المغناطيسي بالرفع والتحكم في الحبيبات والاتجاه البلوري باستخدام IPAS

التشطيب الدقيق: CNC وقدرات التدوير للملفات المعقدة والتحكم في الأبعاد الحرجة

تراكيب الأهداف المتعددة: أحادية الحجر، مرتبطة ب FSW، ومنتجات مرتبطة ب DB متاحة

توصيل المنتج النهائي النظيف: التنظيف الآلي، التجفيف، الفحص، والتعبئة بالتفريغ الكهربائي المتاحة

يمكن تكوين عناصر الفحص وفقا لمواصفات العميل المعتمدة، ومتطلبات الشوائب الحرجة، وبناء الهدف، وخطة التأهيل للفحص الافتراضي. يمكن توفير وثائق فحص القطع والتتبع المناسبة.

دعم العينة والتأهيل

تطوير المنتج البديل: المطابقة بناء على رقم قطعة موجود، أو رسم، أو أبعاد الهدف القديمة، أو العينة الفعلية

التأهيل المرحلي: دعم تجارب العينة، الاختبارات الصغيرة، والتأهيل من المصدر الثاني

تعديل العملية التعاونية: تم تحسين معايير المنتج بناء على تغذية راجعة المعدات، ونتائج الأفلام، وأداء الخدمة

التحكم في مواصفات الحجم: المواد والبناء، والأبعاد، وعناصر مراقبة الجودة التي تم تثبيتها بعد التأهيل

تجربة المشروع والمعدات

قاعدة مشروع 300 مم: دعم تطوير وتوريد أهداف ألكو وألسيكو عيار 300 مم

تقييم المعدات السائدة: المطابقة بناء على نماذج أنظمة ورسومات غرف محددة مثل ULVAC وAMAT وEVAtec وNAURA وSPTS وغيرها من الأنظمة

خبرة المشاريع متعددة المراحل: مشاريع تصنيع المعدات الدولية للطاقة الزجاجية، عملاء الإنتاج الضخم لأشباه الموصلات، مشاريع توريد الدفعات الصغيرة، ومشاريع تأهيل العينات

توفير نظام المواد، وتركيب السبائك، ونموذج المعدات، ورقم الجزء الحالي، ورسم الهدف، ويمكننا تطوير خطة تصنيع عينات وفحصها وتأهيل الموردين.

مشاركة تفاصيل المشروع

الأسئلة الشائعة

1. ما الفرق بين الأهداف المتقطعة في Al، ألكو، AlSi وألسيكو؟

يستخدم الألبوم عالي النقاء بشكل أساسي لترسيب أفلام المعادن النقية من الألمنيوم. يستخدم ألكيو في أفلام سبائك الألمنيوم التي تحتوي على النحس، وألبوسيوم لأفلام سبائك الألمنيوم التي تحتوي على السيلوبين، وألسيكو لأفلام سبائك الألمنيوم متعددة المكونات التي تحتوي على كل من السيلويكروليبون والنحاس المملحوم. يجب اختيار المادة المحددة وفقا لتركيب الفيلم المستهدف، وبنية الجهاز، ووصفة العملية الحالية، والمواصفات المعتمدة.

2. ما هي درجات النقاء المتوفرة لأهداف الألمنيوم المتقطعة؟

يمكننا تزويد أهداف الألمنيوم وسبائك الألمنيوم بدرجة 5N5 ودعم منتجات الألمنيوم عالية النقاء 6N. يمكن تأكيد درجة النقاء المحددة، وحدود الشوائب الحرجة، وعناصر الفحص وفقا لمواصفات عملية أشباه الموصلات، مع توفير بيانات فحص الدفعات المقابلة.

3. هل يمكن تخصيص محتوى النفحة والسيليوم في أهداف سبائك الألمنيوم؟

نعم. يمكن تأكيد محتوى النفحة والسيليوم والسموحات المسموح بها وفقا لتركيبة الفيلم المستهدف، والمواصفات المستهدفة الحالية، ومتطلبات التأهيل للعرض الزجاجي. بعد تأهيل العينة، يمكن تحديد متطلبات تركيب السبائك، والبنية المجهرية، ومتطلبات التحكم في جودة الحجم.

4. هل يمكنك تزويد أهداف سبيكة الألمنيوم بقطر 300 مم؟

يمكننا تزويد أهداف ألكو وألسيكو بقطر 300 مم. يجب مطابقة القطر الخارجي، السماكة، ملف الحواف، لوحة الدعم، وواجهة التثبيت مع نظام PVD، والحجرة، وتكوين الكاثود.

5. هل أهدافك من الألمنيوم متوافقة مع أنظمة AMAT وULVAC وغيرها من أنظمة PVD؟

يمكن تقييم التوافق وفقا لنموذج النظام المحدد، وتكوين الحجرة، ورقم القطعة الحالي، ورسم الأهداف لمعدات AMAT، ULVAC، EVATEC، NAURA، SPTS، وغيرها من المعدات. تشمل قاعدة المنتجات الحالية مشروع ألكو بقطر 300 مم متطابق مع معدات ULVAC؛ يتم تطوير أهداف للأنظمة الأخرى وفقا للمواصفات المعمول بها.

6. هل يمكنك تصنيع أهداف بديلة من رسم موجود أو هدف مستخدم؟

يمكن تطوير المنتجات البديلة من رقم القطعة الأصلي، أو رسم المنتج، أو أبعاد الهدف القديمة، أو هيكل لوحة الدعم، أو صور الهدف الحالي. تدعم الخيارات الأحادية الحجرية، أو الربط بFSW، أو DB، بالإضافة إلى اختبار العينات، والتأهيل للدفعات الصغيرة، وإدخال المصدر الثاني.

تقديم رسومات أهداف الألمنيوم ومتطلبات العملية

قدم معلومات الهدف الحالية ومتطلبات عملية PVD، ويمكننا المساعدة في تأكيد نظام المواد، وتركيب السبائك، وبناء الهدف، وتوافق المعدات، وخطة تأهيل العينة.

المادة المستهدفة: Al، ألكو، AlSi، أو ألسيكو

متطلبات النقاء: درجة النقاء وحدود الشوائب الحرجة

تركيب السبائك: محتوى النفعوس والسيليوم والتسامح المسموح به

أبعاد المنتج: القطر، السماكة، والملفات الحرجة

معلومات المعدات: علامة نظام PVD التجارية، الطراز، ونموذج الغرفة

بناء المنتج: أحادية الحجر، مرتبطة ب FSW، أو مرتبطة DB

تكوين لوحة الدعم: المادة، الأبعاد، ورسم التركيب

متطلبات الجودة: متطلبات الحبيبات، الاتجاه البلوري، السطح، والنظافة

معلومات الاستبدال: رقم قطعة موجودة، رسم، أو صور لهدف قديم

متطلبات الشراء: كمية العينة، خطة التأهيل، والحجم السنوي المقدر

حتى إذا كانت المعلومات المتاحة غير مكتملة، يمكنك أولا تقديم نموذج المعدات، رقم القطعة الأصلي، أو صور الهدف القديم. يمكننا استخدام هذه المعلومات لتحديد المعايير الحرجة والمضي قدما في تطوير العينة.